派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性,高循環(huán)壽命,及低的粒子生成,從真空應用到3500 psig壓力范圍可用.適用于超高壓半導體應用,包括高壓工藝線長效機製、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)

作為儀器儀表流體控制系統(tǒng)技術的行業(yè)*預期，派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥提供優(yōu)良的泄漏完整性管理，高循環(huán)壽命，以及低的粒子生成，從真空應用到3500 psig壓力范圍可用數字技術。它適用于超高壓半導體應用推動，包括高壓工藝線、氣體控制柜和閥門分配箱系統(tǒng)（VMBS）管理。

派克漢尼汾945系列不銹鋼隔膜閥可以選擇手動或氣動操作優化上下。這兩個選項都是內部無彈簧和無螺紋設計，這使顆粒產生和捕獲更小化模樣，從而減少了過程污染生產體系。閥門的嚴格設計控制閥座和膜片的應力，提供穩(wěn)定和免維護的使用壽命很重要。該閥還具有壓縮構件能力和水平，其均勻地加載密封件，而不需要螺紋部件或壓接操作異常狀況。

945系列不銹鋼隔膜閥沾濕組件由特殊金屬制造國際要求，以提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥門本體是由Veriflo的的內部電解拋光316L不銹鋼材質生產而成鍛造。膜片是一種高強度鈷基合金競爭激烈。閥座材料可在PCTFE，PEEK™ 或Vespel® 這些選項中選擇改善，這允許945系列用于廣泛的危險和惰性工藝流體空白區。這些材料，結合閥門嚴格的設計特點信息化，在工作壓力高達3500 psig時形勢，具有很高的耐腐蝕性和優(yōu)良的穩(wěn)定性。氣動選項可以配置為提供具有限位開關的開閉位置指示取得明顯成效。

945個系列不銹鋼隔膜閥門都是在100級潔凈室制造的選擇適用。內部（閥座）密封和金屬外部密封是使用質譜儀氦氣泄漏測試，以實現(xiàn)在要求UHP超高純應用環(huán)境的使用性能和穩(wěn)定性設計。

市場應用：
• 半導體生產
• 分析實驗室
• 藥物分析業務指導，生產
• 生物危害
• 航空航天
• 工業(yè)生產

特點/優(yōu)勢：
• 在管材上加工，這允許改進尺寸控制就此掀開。
• 5微米（Ra）電拋光表面光潔度
• 高循環(huán)壽命（包括腐蝕性應用工況）
• 內部無彈簧和無螺紋設計使顆粒產生和氣體捕獲更小
• 全功能化設計從真空到300psig可用
• 內部泄漏率：小于1×10-9 SCC/SEC
• 外部泄漏率：小于2×10-10SCC/SEC
• 75 PSIG常開常關氣動AOP執(zhí)行壓力（大值）

典型應用：
• 腐蝕性和特殊性氣體
• 半導體設備
• 半導體設備二次配管
• 氣體控制柜
• 閥門分配箱系統(tǒng)（VMB）

Vespel® 是杜邦性能彈性體L.L.C的注冊商標長足發展。
VeriClean™ 是派克漢尼汾公司的商標。
PEEK™ 聚醚醚酮是維克特斯PLC的商標穩步前行。

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