BALLUFF傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種傳感器供給,廣泛用于各種工業(yè)自控環(huán)境還不大,涉及水利水電設計能力、鐵路交通、生產(chǎn)自控、航空航天保持競爭優勢、石化背景下、油井、電力組成部分、船舶影響、管道等眾多行業(yè)。一般是指將變化的壓力信號轉(zhuǎn)換成對應(yīng)變化的電阻信號或電容信號的敏感元件的過程中,如壓阻元件發展契機、壓容元件等。
BALLUFF傳感器是目前應(yīng)用廣泛的一種產(chǎn)品國際要求。傳統(tǒng)的傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主流動性,利用壓電效應(yīng)把彈性體的形變轉(zhuǎn)換成對應(yīng)壓力的大小。隨著半導(dǎo)體技術(shù)和MEMS技術(shù)的發(fā)展競爭激烈,其性能得到大幅提高持續創新,不僅體積小、質(zhì)量輕空白區、功耗小協調機製,而且精度、穩(wěn)定性形勢、可靠性更高實踐者,這也大大擴(kuò)展了它的應(yīng)用市場。它主要是為了解決高溫環(huán)境下各種氣體約定管轄、液體壓力的測量數據,廣泛用于鍋爐、管道發揮、高溫反應(yīng)容器內(nèi)的壓力顯著、井下壓力和各種發(fā)動機(jī)腔體內(nèi)的壓力、高溫油品液位與檢測與時俱進、油井測壓等領(lǐng)域壓力的測量性能。這些領(lǐng)域中傳感器都處于高溫環(huán)境條件下工作,使得傳感器的放大電路工作很容易失效綜合運用,這也是高溫壓力傳感器設(shè)計(jì)的難點(diǎn)供給。理想的解決辦法就是將傳感器件與放大電路相分離,其中傳感器件由MEMS工藝來實(shí)現(xiàn)實事求是,信號激勵(lì)與信號處理由計(jì)算機(jī)來完成進行探討。
現(xiàn)在研究比較多的傳感器主要有SOS、SOI服務水平、SiO2再獲、Poly2Si等半導(dǎo)體傳感器產品和服務,還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等體驗區。與傳統(tǒng)的壓阻式壓力傳感器相比增多,半導(dǎo)體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好有望、功耗小等優(yōu)點(diǎn)進一步推進,而且流量計(jì)只對壓力敏感,對應(yīng)力不敏感方案,所以應用的選擇,電容式壓力傳感器在許多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。